ZYGO ZMI-2002 8020-0211 双频外差激光干涉仪核心信号处理单元

一、品牌与型号定义

1. 厂商：ZYGO（美国齐戈，全球精密激光干涉计量龙头）
2. 系列：ZMI-2000 VME 总线激光干涉信号采集处理板
3. 型号拆解
   • ZMI-2002：双轴测量主板（ZMI-2001 为单轴）
   • 8020-0211：原厂物料零件号，完整尾缀常见 8020-0211-1-J（硬件修订版）
4. 产品定位：6U VME 总线插卡，双频外差激光干涉仪核心信号处理单元，接收光纤激光探头信号，实时解算纳米级位移、速度、加速度，输出给运动伺服系统闭环控制。

二、核心测量性能

1. 精度指标

• 单轴测量分辨率：＜1nm（0.1nm 级）
• 系统测量精度：±0.1 ppm（±1nm/m）
• 测量行程：80m（光纤延长光路）
• 时间基准分辨率：25ns，单轴计时 107.4s

2. 数据格式

• 位置：36 位二进制补码
• 速度：32 位二进制补码
• 支持实时输出位移、速度、加速度、同步时间戳

3. 信号诊断

三、硬件总线与接口

1. 背板总线：标准 6U VMEbus Rev C.1
   • 寻址：A16 / A24
   • 数据传输：D16 / D32
   • 中断：D08 中断确认
2. 高速伺服接口 P2 总线
   • 传输速率 7.7MHz，多板级联多扩展至 16 测量轴
   • 直接对接伺服运动控制卡，实现纳米级闭环定位
3. 前侧外部接口
   • 双路光纤输入（参考激光 + 测量激光）
   • 同步时钟输入 / 输出（多板同步触发）
   • 状态指示灯、系统故障报警端子

四、电气供电规格

• 背板供电：+5V ±5%，额定 3.5A
• 无外部独立电源，完全由 VME 机架背板取电
• 板载双金属散热鳍片，高算力持续稳定工作

五、物理与环境参数

• 外形：6U VME 全长板，尺寸 229×114×29mm
• 重量：1.2kg
• 工作温度：0℃ ~ +40℃（洁净机房 / 半导体设备标准）
• 防护：板卡 IP20，洁净室 Class 1 兼容
• 安规：UL94 V0 阻燃 PCB

六、同系列板卡区分

七、典型应用场景

1. 半导体光刻 / 晶圆步进机：掩膜台、晶圆台纳米定位闭环反馈
2. 光学精密加工：镜头、光栅、光学元件位移检测
3. 航空航天计量：精密运动平台、三坐标超高精度定位
4. 实验室超精密运动台、压电陶瓷（PZT）位移监测
5. 光刻机、检测设备原厂配套备件（现已停产）