SMC INR-498-011D 半导体单回路精密温控冷水机

一、基础定位与应用

• 刻蚀 (ETCH)、CVD、离子注入 (IMPLA)、CMP、量测设备、RTP 扩散炉、静电卡盘 ESC 温控
• 精密镀膜、半导体检测、高端激光设备冷热控温

二、核心硬件规格（同系列 011C/011D 通用基准参数）

1. 回路与输出：单循环回路，4 路流体输出接口
2. 流量：13gpm（加仑 / 分钟）循环泵流量
3. 加热功率：15kW 大功率加热模块，快速升温补偿
4. 整机净重：220kg
5. 配套控制器：INR-498-P542（型号标注 CONTROLLER PBC，为本机主控单元）
6. 循环介质：高纯度去离子水 DIW、乙二醇防冻液体系（半导体制程标准）

三、工况特性

• 冷热双向精密闭环控温，适配半导体工艺宽温区间需求
• 工业级防护，24 小时连续不间断产线运行设计
• 自带压力、流量、液位、超温多重安全联锁报警，适配无尘车间严苛安全规范