ZYGO ZMI-4004 激光控制板

ZYGO ZMI-4004 激光控制板是 ZYGO 公司（现为 AMETEK 集团超精密技术部门的一部分）研发的一款高精度测量控制板，主要用于干涉测量系统，以实现纳米级的位移测量和定位。以下是该产品的详细介绍：

一、产品概述

• 品牌与型号：ZYGO ZMI-4004
• 应用领域：半导体制造、光学加工、计量、高精度运动控制、科研实验、航空航天精密测量等。
• 核心功能：控制激光干涉仪的激光源，实现高精度位移测量和定位。

二、技术特点

1. 高精度测量
   • 采用激光干涉测量技术，可实现纳米级甚至更高分辨率的位移测量。
   • 支持多个干涉测量通道，适用于复杂的多轴测量系统。
2. 高性能信号处理
   • 提供快速、准确的测量反馈，具备高性能信号处理功能。
   • 支持扩展到多达 64 个测量轴，模块化设计便于集成到 VME 机箱中。
3. 兼容性与扩展性
   • 兼容 ZYGO 的激光干涉仪系统，如 ZMI 系列干涉仪和光学测量系统。
   • 可与其他 ZMI 系列板卡（如 ZMI-4104）配合使用，形成完整的测量解决方案。
4. 稳定性与可靠性
   • 采用工业级设计，适应严苛的实验室和工业环境。
   • 荣获的循环减小误差选项，可自动、无缝地消除 DMI 系统中常见的固有非线性误差，达到的测量精度。

三、技术参数

• 位置分辨率：0.15 nm（亚纳米级）
• 速度：±2.55 m/s
• 速度下的精度（σ）：0.2 nm
• 板卡类型：6U VME
• 功率：0.07 μW
• 循环误差补偿：是

四、应用场景

1. 半导体制造
   • 用于晶圆对准、光刻机精密运动控制等，确保半导体芯片制造的精度和稳定性。
2. 光学加工
   • 实现光学元件表面形貌、粗糙度和纹理的高精度测量，支持纳米级非接触式测量。
3. 科研实验
   • 用于高分辨率位移测量，支持光学、材料科学等领域的研究。
4. 航空航天
   • 提供精密测量解决方案，确保航空航天设备的精度和可靠性。

五、产品优势

• 技术：ZYGO 在精密光学和计量领域拥有超过 50 年的技术积累，ZMI-4004 是其核心产品之一。
• 品质保障：产品经过严格的质量控制和测试，确保长期稳定运行。
• 服务支持：ZYGO 在全球设有多个技术支持中心，提供及时的技术支持和售后服务。
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